為了進行潔凈度高的潔凈室的照明設計,首先要介紹潔凈車間的潔凈度和潔凈的氣流模式。在新的《潔凈廠房設計規范》GB50073-2001中,對空氣潔凈度等級的規定進行了很多修改。GBJ73-84規定,空氣潔凈度分為100、1000和10000100,000四個等級,隨著微電子和集成電路產業的飛速發展,潔凈室對空氣潔凈度的要求越來越高,需要將粉塵顆粒的粒徑控制在0.1μm以下。
為了與國際標準保持一致,均采用了新規范。國際標準ISO14644-1的相關規定將空氣清潔度級別從4級提高到9級,即1級和2級···9級
規格中也明確規定了清潔空氣的流動方式選擇?!皩τ诳諝馇鍧嵍鹊燃墳?至4,應使用垂直單向流;當要求空氣清潔度等級為5時,應使用垂直流。單向流或水平單向流;在6至9級時,應使用非單向流”。
所謂氣流方式,就是合理設計室內潔凈空氣的流動方式和分布。其特點:應考慮避免或減少渦流,有利于迅速有效地去除污染物,并應試圖限制和減少室內污染源散發的粉塵和細菌的擴散,并保持空氣清潔室內生產環境要求的級別。
由于無塵室的特殊性,一般潔凈燈照明燈具的選擇應使用光滑的外觀,并且不平坦的表面應充滿灰塵,灰塵易于清潔,并且由不適合產生靜電的材料制成。除了滿足照度要求外,還應根據室內空氣流動模式考慮燈具的選擇和布置。當天花板是垂直的單向送風口時,例如:大型集成電路廠的光刻車間,其高效過濾器出風口的面積有時可以達到天花板面積的80%左右,這是在燈的布局上造成困難。
此時,選擇淚珠型熒光燈是合適的。該燈對氣流的影響很小,可以安裝在專用鋁制成的高效過濾器中。型材框架的下側不妨礙空氣供應,并有效利用了僅天花板空間。根據不同的天花板模塊,可以選擇不同長度的燈。